Präzisionsfolien aus Silicon können aufgrund ihrer dielektrischen Eigenschaften für neuartige Sensoren, Aktuatoren und Generatoren eingesetzt werden.
Präzisionsfolien aus Silicon können aufgrund ihrer dielektrischen Eigenschaften für neuartige Sensoren, Aktuatoren und Generatoren eingesetzt werden. Die hauchdünnen Filme werden in Burghausen unter Reinraumbedingungen hergestellt. ( Bild: Wacker Chemia AG )